產品特點 | 自動烤箱是一款多腔室的全自動烘箱設備, 能兼容晶圓作業及傳統封裝行業,設備采用 多層設計,結構緊湊,烤箱門可實現自動開 閉,可外置AGV機器人進行烤箱自動上下 料,從而實現烤箱全自動作業。 |
產品性能 | 高溫、高潔凈度、均勻降溫等; |
工藝溫度:室溫+30-300℃。 |
產品特點 | 自動烤箱是一款多腔室的全自動烘箱設備, 能兼容晶圓作業及傳統封裝行業,設備采用 多層設計,結構緊湊,烤箱門可實現自動開 閉,可外置AGV機器人進行烤箱自動上下 料,從而實現烤箱全自動作業。 |
產品性能 | 高溫、高潔凈度、均勻降溫等; |
工藝溫度:室溫+30-300℃。 |
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